1। ভ্যাকুয়াম হিটিং ক্লিনিং
পরিষ্কারের উদ্দেশ্য অর্জনের জন্য তার পৃষ্ঠের অস্থির অমেধ্যগুলি বাষ্পীভূত করতে ওয়ার্কপিসটি স্বাভাবিক চাপ বা ভ্যাকুয়ামে উত্তপ্ত হয়। এই পদ্ধতির পরিষ্কারের প্রভাবটি ওয়ার্কপিসের পরিবেষ্টিত চাপ, ভ্যাকুয়াম হোল্ডিং সময়ের দৈর্ঘ্য, গরমের তাপমাত্রা, দূষণকারীদের ধরণ এবং ওয়ার্কপিস উপাদান সম্পর্কিত। নীতিটি হ'ল জলের অণু এবং বিভিন্ন হাইড্রোকার্বন অণুগুলির পৃষ্ঠের উপরে সংশ্লেষিত ডেসারপশন বর্ধনের প্রচারের জন্য ওয়ার্কপিসটি গরম করা। ডেসারপশন বর্ধনের ডিগ্রি তাপমাত্রার উপর নির্ভর করে। আল্ট্রা - উচ্চ ভ্যাকুয়ামে, একটি পারমাণবিকভাবে পরিষ্কার পৃষ্ঠ পাওয়ার জন্য, গরমের তাপমাত্রা অবশ্যই 450 ডিগ্রির চেয়ে বেশি হতে হবে এবং হিটিং ক্লিনিং পদ্ধতিটি বিশেষভাবে কার্যকর। তবে কখনও কখনও এই পদ্ধতির পার্শ্ব প্রতিক্রিয়া থাকে। গরম করার ফলস্বরূপ, কিছু হাইড্রোকার্বন বৃহত্তর সমষ্টিগুলিতে পলিমারাইজ করতে পারে এবং একই সাথে কার্বন স্ল্যাগে পচে যায়।
2। আল্ট্রাভায়োলেট ইরেডিয়েশন ক্লিনিং
পৃষ্ঠের হাইড্রোকার্বনকে পচন করতে অতিবেগুনী বিকিরণ ব্যবহার করুন। উদাহরণস্বরূপ, 15 ঘন্টা বাতাসের এক্সপোজার একটি পরিষ্কার কাচের পৃষ্ঠ উত্পাদন করতে পারে। যদি সঠিকভাবে প্রাক - পরিষ্কার পৃষ্ঠটি একটি অতিবেগুনী উত্সে স্থাপন করা হয় যা ওজোন উত্পাদন করে, তবে এটি একটি পরিষ্কার পৃষ্ঠ (প্রক্রিয়া পরিষ্কারের) গঠন করতে কয়েক মিনিট সময় নেয়, যা দেখায় যে ওজোনের উপস্থিতি পরিষ্কারের হারকে উন্নত করে। পরিষ্কারের প্রক্রিয়াটি হ'ল অতিবেগুনী ইরেডিয়েশনের অধীনে ময়লা অণুগুলি উত্তেজিত এবং বিচ্ছিন্ন হয় এবং ওজোন প্রজন্ম এবং উপস্থিতি অত্যন্ত সক্রিয় পারমাণবিক অক্সিজেন উত্পাদন করে। উত্তেজিত দূষণকারী অণু এবং দূষণকারীদের বিচ্ছিন্নতা দ্বারা উত্পাদিত ফ্রি র্যাডিকালগুলি তুলনামূলকভাবে সহজ এবং অস্থির অণু যেমন এইচ 203, সিও 2, এন 2 ইত্যাদি উত্পন্ন করতে পারমাণবিক অক্সিজেনের সাথে প্রতিক্রিয়া দেখায়। তাপমাত্রা বৃদ্ধির সাথে প্রতিক্রিয়া হার বৃদ্ধি পায়।
3। স্রাব পরিষ্কার
এই পরিষ্কারের পদ্ধতিটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং আল্ট্রা - উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেমগুলি বিশেষত ভ্যাকুয়াম লেপ সরঞ্জামগুলিতে পরিষ্কার এবং অবনমিতকরণে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। বৈদ্যুতিন উত্স হিসাবে গরম তার বা ইলেক্ট্রোডগুলি ব্যবহার করে এবং পরিষ্কার করার জন্য আপেক্ষিক পৃষ্ঠকে নেতিবাচক পক্ষপাত প্রয়োগ করা, আয়ন বোমাবর্ষণ দ্বারা কিছু হাইড্রোকার্বনকে গ্যাস ডেসারপশন এবং অপসারণ অর্জন করা যেতে পারে। পরিষ্কারের প্রভাবটি বৈদ্যুতিন উপাদান, জ্যামিতি এবং পৃষ্ঠের সাথে এর সম্পর্কের উপর নির্ভর করে, অর্থাৎ প্রতি ইউনিট পৃষ্ঠের অঞ্চল এবং আয়ন শক্তির আয়নগুলির সংখ্যা এবং এইভাবে কার্যকর বৈদ্যুতিক শক্তির উপর নির্ভর করে। যখন ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি একটি উপযুক্ত আংশিক চাপে একটি জড় গ্যাস (সাধারণত এআর গ্যাস) দিয়ে পূর্ণ হয়, তখন ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি পরিষ্কার করতে দুটি উপযুক্ত ইলেক্ট্রোডের মধ্যে কম - চাপ গ্লো স্রাব দ্বারা উত্পাদিত আয়ন বোমাবাজি ব্যবহার করা যেতে পারে। এই পদ্ধতিতে, জড় গ্যাসটি আয়নযুক্ত এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারের অভ্যন্তরীণ প্রাচীর, ভ্যাকুয়াম চেম্বারের অন্যান্য কাঠামোগত উপাদান এবং সাবস্ট্রেটের বোমা ফাটিয়েছে। ভরা গ্যাসে অক্সিজেন যুক্ত করা হলে কিছু হাইড্রোকার্বন আরও ভালভাবে পরিষ্কার করা যায়। যেহেতু অক্সিজেন কিছু হাইড্রোকার্বনকে উদ্বায়ী গ্যাস গঠনের জন্য অক্সিডাইজ করতে পারে, তাই এটি ভ্যাকুয়াম সিস্টেম থেকে সহজেই বাদ দেওয়া যায়। স্টেইনলেস স্টিলের উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং আল্ট্রা - উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাত্রে পৃষ্ঠের উপর অমেধ্যগুলির প্রধান উপাদানগুলি হ'ল কার্বন এবং হাইড্রোকার্বন। সাধারণ পরিস্থিতিতে কার্বন একা একা উদ্বায়ী করতে পারে না। রাসায়নিক পরিষ্কারের পরে, এআর বা এআর + 02 মিশ্রিত গ্যাসের জন্য গ্লো স্রাব পরিষ্কারের জন্য প্রবর্তন করা দরকার। গ্লো স্রাব পরিষ্কারের ক্ষেত্রে, আরও গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলি হ'ল ভোল্টেজ প্রয়োগ করা (এসি বা ডিসি), যা রাসায়নিকভাবে পৃষ্ঠের সাথে আবদ্ধ গ্যাস, স্রাবের ভোল্টেজ, বর্তমান ঘনত্ব, গ্যাসের ধরণ এবং চাপ, বোম্বার্ডমেন্টের আকার, বৈদ্যুতিন আকার, উপাদান এবং অংশগুলির অবস্থানগুলি পরিষ্কার করার জন্য ব্যবহৃত হয়, ইত্যাদি
Iv। গ্যাস ফ্লাশিং
1। অ্যামোনিয়া ফ্লাশিং
যখন নাইট্রোজেনটি উপাদানের পৃষ্ঠের উপরে সংশ্লেষিত হয়, তখন শোষণ শক্তি খুব ছোট হয়, তাই পৃষ্ঠের শোষণের সময়টি খুব ছোট এবং এমনকি যদি এটি ডিভাইসের দেয়ালে সংশ্লেষিত হয় তবে এটি সহজেই দূরে পাম্প করা হয়। ভ্যাকুয়াম সিস্টেমটি ফ্লাশ করতে অ্যামোনিয়ার এই বৈশিষ্ট্যটি ব্যবহার করে সিস্টেমের পাম্পিংয়ের সময়টি ছোট করতে পারে। যদি ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনটি বায়ুমণ্ডলে রাখার আগে শুকনো নাইট্রোজেনে ভরা থাকে তবে পরবর্তী পাম্পিং চক্রের পাম্পিং সময়টি প্রায় অর্ধেক দ্বারা সংক্ষিপ্ত করা যেতে পারে, কারণ নাইট্রোজেনের শোষণ শক্তি জলীয় বাষ্পের অণুগুলির শোষণ শক্তির চেয়ে অনেক ছোট এবং নাইট্রোজেনের পরে ভ্যাকুয়ামে ভ্যাকিউমগুলি ভ্যাকিউজের মাধ্যমে ভ্যাকিউলগুলি পূরণ করা হয়। যেহেতু শোষণ সাইটগুলি নির্দিষ্ট এবং নাইট্রোজেন অণুতে প্রথমে ভরা থাকে, সেখানে কয়েকটি বিজ্ঞাপনযুক্ত জলের অণু রয়েছে, যা পাম্পিংয়ের সময়কে সংক্ষিপ্ত করে। যদি সিস্টেমটি ডিফিউশন পাম্প থেকে তেল ছড়িয়ে পড়ে দূষিত হয় তবে দূষিত সিস্টেমটি নাইট্রোজেন ফ্লাশিং দ্বারা পরিষ্কার করা যায়। সাধারণত, সিস্টেমটি বেকিং এবং গরম করার সময়, তেল দূষণ দূর করতে সিস্টেমটি নাইট্রোজেনের সাথে ফ্লাশ করা যেতে পারে।
2। প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস ফ্লাশিং
এই পদ্ধতিটি বিশেষত বৃহত আল্ট্রা - উচ্চ স্টেইনলেস স্টিলের ভ্যাকুয়াম সিস্টেমগুলি (হাইড্রোকার্বন দূষণ অপসারণ) এর অভ্যন্তরীণ পরিষ্কারের জন্য উপযুক্ত, এবং সাধারণত ভ্যাকুয়াম চেম্বার এবং ভ্যাকুয়াম উপাদানগুলির জন্য কিছু বড় আল্ট্রা -}}}}}} উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেমগুলির জন্য উপযুক্ত। পারমাণবিক অবস্থায় একটি পরিষ্কার পৃষ্ঠ অর্জনের জন্য, পৃষ্ঠের দূষণ দূরীকরণের জন্য স্ট্যান্ডার্ড পদ্ধতি হ'ল রাসায়নিক পরিষ্কার, ভ্যাকুয়াম ফার্নেস বেকিং, গ্লো স্রাব পরিষ্কার এবং পারমাণবিক শক্তি বেকিং সহ ভ্যাকুয়াম সিস্টেম। উপরের পরিষ্কার এবং অবনমিত পদ্ধতিগুলি প্রায়শই ভ্যাকুয়াম সিস্টেম ইনস্টল করার আগে এবং সময় ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম সিস্টেমটি ইনস্টল হওয়ার পরে (বা সিস্টেমটি কার্যকর হওয়ার পরে), এটি ডিগাস করা কঠিন কারণ বিভিন্ন উপাদান ইতিমধ্যে স্থির রয়েছে। একবার সিস্টেমটি (দুর্ঘটনাক্রমে) দূষিত হয়ে গেলে (প্রধানত হাইড্রোকার্বনগুলির মতো বৃহত্তর পারমাণবিক সংখ্যার অণু দ্বারা), এটি সাধারণত বিচ্ছিন্ন, পুনঃনির্মাণ এবং পুনরায় ইনস্টল করা হয়, অন্যদিকে অনলাইনে ডিগাসিং একটি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রোগ্রাম ব্যবহার করে কার্যকরভাবে হাইড্রোকার্বন দূষককে সরিয়ে দেওয়া যায় স্টেইনলেস স্টিল ভ্যাকুয়াম চেম্বারে। এর পরিষ্কারের ব্যবস্থা: অক্সিডাইজিং গ্যাস (02, কোনও - rrb - প্রবর্তন করা এবং গ্যাস (এনএইচ 3 এনএইচ 3) হ্রাস করা সিস্টেমে রাসায়নিকভাবে প্রতিক্রিয়া জানায় এবং ধাতব পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করার জন্য ধাতব পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করার জন্য ধাতব পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করার জন্য এবং পৃষ্ঠের অক্সিডেশনকে হ্রাস করার জন্য। প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের চাপ এবং তাপমাত্রা সামঞ্জস্য করে নিয়ন্ত্রিত, বিভিন্ন স্ফটিক ওরিয়েন্টেশনের জন্য সুনির্দিষ্ট পরামিতিগুলি পরীক্ষামূলকভাবে নির্ধারিত হয় এবং এই পরামিতিগুলি আলাদা।
