চৌম্বকীয় স্পটারিং সরঞ্জামগুলি মূলত নিম্নলিখিত অংশগুলির সমন্বয়ে গঠিত:
1। লক্ষ্য উপাদান: চৌম্বকীয় স্পটারিং সরঞ্জামগুলির মূল উপাদান, সাধারণত ধাতু, মিশ্রণ এবং অন্যান্য উপকরণ দিয়ে তৈরি।
২। ভ্যাকুয়াম চেম্বার: চৌম্বকীয় স্পটারিং সরঞ্জামগুলির অপারেটিং পরিবেশটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে সম্পাদন করা দরকার এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভ্যাকুয়াম বজায় রাখার ভূমিকা পালন করে।
3। চৌম্বকীয় সিস্টেম: চৌম্বকীয় ক্ষেত্রটি স্পটারিংয়ের কারণ হিসাবে লক্ষ্য উপাদানের পৃষ্ঠের আয়ন বোমাবর্ষণ নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়।
4। সাবস্ট্রেট ফ্রেম: প্রক্রিয়া করার জন্য সাবস্ট্রেট উপাদান সমর্থন করতে ব্যবহৃত হয়।
5। হিটিং সিস্টেম: কিছু ক্ষেত্রে, স্পটারিং প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণ করতে লক্ষ্য উপাদান এবং সাবস্ট্রেটকে উত্তপ্ত করা দরকার।
