ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনগুলির প্রধান শ্রেণিবিন্যাস

দুটি প্রধান বিভাগ রয়েছে: বাষ্পীভবন ডিপোজিশন লেপ এবং স্পটারিং ডিপোজিশন লেপ, যার মধ্যে ভ্যাকুয়াম আয়ন বাষ্পীভবন, চৌম্বকীয় স্পটারিং, এমবিই আণবিক মরীচি এপিট্যাক্সি, সোল -}} জেল পদ্ধতি সহ অনেক ধরণের অন্তর্ভুক্ত রয়েছে
1। বাষ্পীভবন আবরণের জন্য:
সাধারণত, লক্ষ্য উপাদানগুলি পারমাণবিক গোষ্ঠী বা আয়নগুলির আকারে পৃষ্ঠের উপাদানগুলি বাষ্পীভূত করতে উত্তপ্ত হয়।
বেধের অভিন্নতা মূলত নির্ভর করে:
1। সাবস্ট্রেট উপাদান এবং লক্ষ্য উপাদানের মধ্যে জালির ম্যাচিং ডিগ্রি
2। পৃষ্ঠতল তাপমাত্রা সাবস্ট্রেট
3। বাষ্পীভবন শক্তি, হার
4 .. ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি
5। লেপ সময়, বেধের আকার।
উপাদান অভিন্নতা:
বাষ্পীভবন লেপের উপাদান অভিন্নতা গ্যারান্টি দেওয়া সহজ নয়। সামঞ্জস্য করা যায় এমন নির্দিষ্ট কারণগুলি উপরের মতো একই। যাইহোক, নীতিটির সীমাবদ্ধতার কারণে, নন - একক উপাদান আবরণের জন্য, বাষ্পীভবন আবরণের উপাদান অভিন্নতা ভাল নয়।
স্ফটিক ওরিয়েন্টেশন অভিন্নতা:
1। জালির ম্যাচিং ডিগ্রি
2। সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা
3। বাষ্পীভবন হার
স্পটারিং লেপ বিভিন্ন ধরণের মধ্যে বিভক্ত করা যেতে পারে। সাধারণভাবে বলতে গেলে, বাষ্পীভবন লেপ থেকে পার্থক্যটি হ'ল স্পটারিং হারটি অন্যতম প্রধান পরামিতি হয়ে উঠবে।
স্পটারিং লেপে, লেজার স্পটারিং লেপ পিএলডি উপাদানটির অভিন্নতা বজায় রাখা সহজ, তবে পারমাণবিক স্কেলে বেধের অভিন্নতা তুলনামূলকভাবে দুর্বল (কারণ এটি পালসড স্পটারিং), এবং স্ফটিক দিক (বাইরের প্রান্ত) বৃদ্ধি নিয়ন্ত্রণও তুলনামূলকভাবে সাধারণ।