একটি অপটিক্যাল লেপ মেশিনের ওয়ার্কফ্লোতে সাধারণত নিম্নলিখিত প্রধান পদক্ষেপগুলি অন্তর্ভুক্ত থাকে: প্রিট্রেটমেন্ট, লেপ, ফিল্ম পর্যবেক্ষণ এবং সমন্বয়, শীতলকরণ এবং অপসারণ। নির্দিষ্ট প্রক্রিয়াটি সরঞ্জামের ধরণের (যেমন বাষ্পীভবন লেপ মেশিন, স্পটারিং লেপ মেশিন ইত্যাদি) এবং লেপ প্রক্রিয়া (যেমন একক -}} স্তর ফিল্ম, মাল্টি-}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} le
1। প্রস্তুতি পর্যায়ে
অপটিক্যাল উপাদানগুলি পরিষ্কার এবং প্রস্তুতি:
আবরণের আগে অপটিক্যাল উপাদানগুলি (যেমন লেন্স, ফিল্টার, অপটিক্যাল গ্লাস ইত্যাদি) পুরোপুরি পরিষ্কার করা দরকার। এই পদক্ষেপটি লেপের গুণমান নিশ্চিত করার ভিত্তি। সাধারণ পরিষ্কারের পদ্ধতির মধ্যে রয়েছে অতিস্বনক পরিষ্কার করা, অ্যাসিড পরিষ্কার করা, বাষ্প পরিষ্কারের ইত্যাদি।
পরিষ্কার অপটিক্যাল উপাদানগুলি সাধারণত আবরণ যন্ত্রের ঘোরানো ডিভাইস বা ক্ল্যাম্পিং সিস্টেমে স্থাপন করা হয় যাতে তারা লেপ প্রক্রিয়া চলাকালীন স্থিতিশীল থাকতে পারে তা নিশ্চিত করার জন্য।
ভ্যাকুয়াম চেম্বারের pretreatment:
লেপ মেশিনে অপটিক্যাল উপাদানগুলি রাখার আগে, লেপ চেম্বারটি একটি নির্দিষ্ট ভ্যাকুয়াম ডিগ্রিতে সরিয়ে নেওয়া দরকার। ভ্যাকুয়াম পরিবেশ কার্যকরভাবে বাতাসে অমেধ্য, অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্পগুলি সরিয়ে ফেলতে পারে, তাদের লেপ উপাদানগুলির সাথে প্রতিক্রিয়া জানাতে বাধা দিতে পারে এবং ফিল্মের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করতে পারে।
সাধারণত, লেপ চেম্বারে উচ্চ ভ্যাকুয়াম (10⁻⁵ থেকে 10⁻⁶ পিএ) বা মাঝারি ভ্যাকুয়াম (10⁻ থেকে 10⁻⁴ পিএ) পৌঁছাতে হয়।
2। আবরণ প্রক্রিয়া
লেপ উত্স শুরু করুন:
আবরণ উত্স সাধারণত বাষ্পীভবন উত্স বা স্পটারিং উত্স গ্রহণ করে। বিভিন্ন লেপ প্রক্রিয়া এবং উপকরণ অনুযায়ী বিভিন্ন লেপ উত্স নির্বাচন করা হবে।
বাষ্পীভবন উত্স: বাষ্পীভবন অবস্থায় লেপ উপাদানটি গরম করার জন্য হিটিং সরঞ্জামগুলি (যেমন ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবন বা প্রতিরোধের উত্তাপের বাষ্পীভবন) ব্যবহার করুন, যাতে এর অণু বা পরমাণুগুলি বাষ্পীভূত হয় এবং ভ্যাকুয়ামে অপটিক্যাল উপাদানগুলির পৃষ্ঠে জমা হয়।
স্পটারিং উত্স: আয়নগুলির সাথে লক্ষ্য উপাদানগুলির সংঘর্ষের জন্য উচ্চ ভোল্টেজ প্রয়োগ করে, লক্ষ্য উপাদানের পরমাণু বা অণুগুলি ছড়িয়ে দেওয়া হয় এবং এই পরমাণু বা অণুগুলি একটি পাতলা ফিল্ম গঠনের জন্য অপটিক্যাল উপাদানটির পৃষ্ঠে জমা হয়।
পাতলা ফিল্ম উপাদান জমা:
ভ্যাকুয়াম পরিবেশে, লেপ উপাদানগুলি উত্স থেকে বাষ্পীভূত হয় বা স্পটারগুলি (যেমন বাষ্পীভবন উত্স বা লক্ষ্য উপাদান) এবং ধীরে ধীরে অপটিক্যাল উপাদানটির পৃষ্ঠে জমা হয়।
ফিল্মের স্তরটি অভিন্ন, অবিচ্ছিন্ন এবং নকশার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য ডিপোজিটের হার এবং ফিল্মের বেধ যথাযথভাবে নিয়ন্ত্রণ করা দরকার। জবানবন্দি প্রক্রিয়া চলাকালীন প্যারামিটারগুলি (যেমন বর্তমান, গ্যাস প্রবাহ, তাপমাত্রা ইত্যাদি) সরাসরি ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করবে।
পাতলা ফিল্ম পর্যবেক্ষণ এবং বেধ নিয়ন্ত্রণ:
লেপ প্রক্রিয়া চলাকালীন, ফিল্মের বেধ এবং গুণমান সাধারণত রিয়েল টাইমে পর্যবেক্ষণ করা হয়। সাধারণত ব্যবহৃত মনিটরিং সরঞ্জামগুলির মধ্যে ** কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল মাইক্রোবালেন্স (কিউসিএম) ** এর মতো সেন্সর অন্তর্ভুক্ত রয়েছে, যা ফিল্মের জমা দেওয়ার হার এবং বেধ সঠিকভাবে সনাক্ত করতে পারে।
এই মনিটরিং ডেটার উপর ভিত্তি করে, সিস্টেমটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে লেপ উত্সের শক্তি, গ্যাস প্রবাহ বা ফিল্ম স্তরের ধারাবাহিকতা এবং অভিন্নতা বজায় রাখার জন্য উপাদানটির ঘূর্ণন গতি হিসাবে পরামিতিগুলি সামঞ্জস্য করতে পারে।
মাল্টিলেয়ার ফিল্ম (যদি প্রয়োজন হয়):
অপটিকাল উপাদানগুলির জন্য যার জন্য মাল্টিলেয়ার ফিল্ম কাঠামোর প্রয়োজন হয়, লেপ প্রক্রিয়াটি সাধারণত স্তর দ্বারা স্তর চালিত হয়। ফিল্মের প্রতিটি স্তর জমা হওয়ার পরে, প্রতিটি স্তরের গুণমান ডিজাইনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য সিস্টেমটি বারবার ফিল্মের বেধ সনাক্তকরণ এবং সমন্বয় সম্পাদন করবে।
এই প্রক্রিয়াটির জন্য প্রতিটি স্তর নির্দিষ্ট তরঙ্গদৈর্ঘ্যের পরিসরের মধ্যে যেমন প্রতিবিম্ব, সংক্রমণ বা হস্তক্ষেপের মধ্যে কাজ করতে পারে তা নিশ্চিত করার জন্য প্রতিটি স্তরের বেধ এবং উপাদান ধরণের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন।
3। শীতলকরণ এবং অপসারণ
কুলিং:
আবরণের পরে, অপটিক্যাল উপাদান এবং লেপ মেশিনটি শীতল করা দরকার। যেহেতু লেপ প্রক্রিয়া চলাকালীন সরঞ্জাম এবং উপাদানগুলি গরম হয়ে উঠতে পারে, তাই তাপীয় ক্ষতি রোধ করতে তাদের শীতল সিস্টেমের (যেমন শীতল জল বা বায়ু প্রবাহ) মাধ্যমে ঘরের তাপমাত্রায় শীতল করা দরকার।
কিছু উচ্চ - তাপমাত্রার আবরণ প্রক্রিয়াগুলিতে, শীতলকরণ কেবল অপটিক্যাল উপাদানগুলিকে সুরক্ষা দেয় না, তবে ফিল্মটিকে সর্বোত্তম আনুগত্য এবং স্থিতিশীলতা অর্জন করতে সক্ষম করে।
অপটিক্যাল উপাদানগুলি সরানো:
শীতল হওয়ার পরে, অপটিক্যাল উপাদানগুলি লেপ মেশিন থেকে সরানো যেতে পারে।
অপসারণের আগে, লেপ প্রভাবটি প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য ফিল্ম স্তরটির অভিন্নতা, বেধ, আঠালো ইত্যাদি সহ লেপ প্রভাবটি পরীক্ষা করা দরকার।
4। পোস্ট - চিকিত্সা (al চ্ছিক)
ফিল্ম হার্ডিং:
কখনও কখনও ফিল্মের স্ক্র্যাচ প্রতিরোধের এবং স্থায়িত্ব উন্নত করতে লেপের পরে ফিল্মটি শক্ত করা দরকার। এটি সাধারণত তাপ চিকিত্সা বা অতিবেগুনী বিকিরণ দ্বারা করা হয়।
ফিল্ম পরিষ্কার:
ফিল্মের পৃষ্ঠের দূষণকারী, গ্রীস বা অন্যান্য অমেধ্যগুলি অপসারণ করার জন্য, সামান্য পরিষ্কারের প্রয়োজন হতে পারে যেমন ধোয়া, অতিস্বনক চিকিত্সা ইত্যাদি ইত্যাদি
5। গুণমান পরিদর্শন এবং পরীক্ষা
অপটিকাল পারফরম্যান্স পরীক্ষা: লেপের পরে, তারা প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে তা নিশ্চিত করার জন্য ট্রান্সমিট্যান্স, প্রতিচ্ছবি, ফিল্মের অভিন্নতা ইত্যাদি সহ অপটিক্যাল উপাদানগুলিতে একটি সিরিজ পারফরম্যান্স পরীক্ষা করা হয়।
আঠালো পরীক্ষা: ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আঠালো টেপ পরীক্ষা বা স্ক্র্যাচ পরীক্ষার মাধ্যমে দৃ firm ় কিনা তা পরীক্ষা করে দেখুন।
পরিবেশগত স্থিতিশীলতা পরীক্ষা: কখনও কখনও পরিবেশগত অবস্থার অধীনে স্থায়িত্ব পরীক্ষা যেমন তাপমাত্রা, আর্দ্রতা এবং অতিবেগুনী রশ্মি প্রকৃত অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে লেপ স্তরটির নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য প্রয়োজন।
