1। প্রাক - চিকিত্সা
- সাবস্ট্রেট ক্লিনিং: অতিস্বনক অবনতি + প্লাজমা পরিষ্কার (পাওয়ার 50-200W)।
- ক্ল্যাম্পিং এবং অবস্থান: নিশ্চিত করুন যে স্তর এবং বাষ্পীভবন উত্সের মধ্যে দূরত্ব 20-50 সেমি (ফিল্মের বেধের অভিন্নতা প্রভাবিত করে)।
2। লেপ স্টেজ
- প্রাক - স্পটারিং: লক্ষ্যটির পৃষ্ঠের অক্সাইডগুলি অপসারণ করতে আর্গন গ্যাস (প্রবাহের হার 10-50sccm) প্রবর্তন করুন।
- প্রধান জবানবন্দি:
- বাষ্পীভবন লেপ: হার 0.1-10nm/s (ইলেক্ট্রন বিম শক্তি 5-20 কেডাব্লু)।
- চৌম্বকীয় স্পটারিং: ডিপোজিশন রেট 0.01-1μm/মিনিট (গ্যাস চাপ 0.1-1pa)।
3। পোস্ট - চিকিত্সা
- ফিল্মের আঠালোকে উন্নত করতে অ্যানিলিং এবং শক্তিশালী (200-400 ডিগ্রি, 1-2 ঘন্টা) (স্ক্র্যাচ পরীক্ষা 5n এর চেয়ে বেশি বা সমান)।
