1. চেম্বারের পৃষ্ঠটি ক্রমাগত "পুনরায় লেখা" হবে
প্রতিটি PVD প্রক্রিয়া চেম্বারে ট্রেস ছেড়ে যাবে।
এই ট্রেস প্রধানত থেকে আসে:
লক্ষ্য থেকে ছিটকে পড়া উপাদানের জমা, বিক্রিয়া পণ্যের আনুগত্য এবং জমা, একাধিক উপকরণের বিকল্প কভারেজ
সময়ের সাথে সাথে, চেম্বারের অভ্যন্তরীণ প্রাচীরটি আর আসল ধাতু নয়, তবে যৌগিক ছায়াছবির একটি স্তর যা ক্রমাগত সুপারইম্পোজড এবং বিকশিত হয়।
আরও গুরুত্বপূর্ণ, এই ফিল্মটি "স্থিতিশীল" নয় এবং পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলিতে অংশগ্রহণ করা চালিয়ে যাবে, যেমন পুনঃ{0}}স্পটারিং, রিডিপজিশন, এবং রি-প্রতিক্রিয়া।
অন্য কথায়, চেম্বারের পৃষ্ঠ নিজেই উত্পাদন প্রক্রিয়ার অংশ হয়ে উঠেছে।
2. গ্যাসের পরিবেশও "মনে রাখা হয়"
চেম্বারটি কেবল "ক্রমবর্ধমান ফিল্ম" নয়, "বাতাস ধরে রাখা"ও।
জলীয় বাষ্প, অক্সিজেন, এবং অবশিষ্ট প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি চেম্বারের পৃষ্ঠে শোষিত হতে থাকবে।
পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলিতে, এই গ্যাসগুলি নির্গত হতে পারে এবং পুনরায়-প্লাজমাতে প্রবেশ করতে পারে।
এই প্রক্রিয়ার বৈশিষ্ট্য হল:
পুরোপুরি নিয়ন্ত্রণযোগ্য নয়। দৃঢ়ভাবে তাপমাত্রা, সময়, এবং স্রাব অবস্থার সাথে সম্পর্কিত। বিভিন্ন ব্যাচে পার্থক্য ঘটবে।
ফলাফল হল:
এমনকি যদি গ্যাস প্রবাহের হার সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে সেট করা হয়, তবে প্রতিক্রিয়ার সাথে জড়িত বায়ুমণ্ডল ভিন্ন হতে পারে।
3. স্রাব পথ ধীরে ধীরে "স্থির হয়"
স্রাব শুরু থেকে স্থিতিশীল নয়; বরং, এটি ধীরে ধীরে দীর্ঘ-মেয়াদী অপারেশনে একটি কাঠামো তৈরি করে।
যেহেতু প্রক্রিয়াটি পুনরাবৃত্তি হয়: কিছু অঞ্চল আরও সহজে স্রাব বজায় রাখে; অন্যরা ধীরে ধীরে দুর্বল হয়; প্লাজমা বিতরণ একটি "অভ্যাসগত পথ" এর দিকে ঝোঁক। এই প্রক্রিয়াটি মূলত একটি "স্থিতিশীল কাঠামো" প্রতিষ্ঠা করছে।
একবার গঠিত হলে, এটি পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলিতে একটি অবিচ্ছিন্ন প্রভাব ফেলবে।
4. প্রক্রিয়া পরিবর্তন করার সময় কেন সমস্যাগুলি সবচেয়ে বেশি ঘটতে পারে?
যখন একটি প্রক্রিয়া সুইচ করা হয়, তখন মূল "স্থির অবস্থা" ব্যাহত হয়: নতুন উপকরণগুলি পুরানো জমা স্তরকে আবৃত করে; গ্যাস সিস্টেম পরিবর্তন; প্লাজমা গঠন পুনরায় বিতরণ. যাইহোক, এই পরিবর্তনগুলি অবিলম্বে নয় বরং একটি ক্রান্তিকালীন প্রক্রিয়া।
এই প্রক্রিয়া চলাকালীন: সিস্টেমটি "পুরানো অবস্থায়" নেই বা এটি "নতুন স্থিতিশীল অবস্থায়" প্রবেশ করেনি।
এইভাবে, সাধারণ ঘটনাটি ঘটে: প্রথম কয়েকটি ব্যাচ উল্লেখযোগ্য ওঠানামা দেখায়, তারপরে ধীরে ধীরে স্থিতিশীলতা দেখা যায়।
5. কেন পরিষ্কার করা সমান "রিসেটিং মেমরি"?
পরিষ্কারের কাজটি কেবল ময়লা অপসারণই নয়, আরও গুরুত্বপূর্ণভাবে:
আমানত সরান
গ্যাস শোষণ ভারসাম্য ব্যাহত
স্রাব পাথ রিসেট
একটি সিস্টেমের দৃষ্টিকোণ থেকে, এটি এর সমতুল্য:
দীর্ঘমেয়াদী জমে থাকা অবস্থাগুলিকে সম্পূর্ণরূপে সাফ করা হচ্ছে-।
তাই পরিষ্কার করার পরে:
আসল নৈপুণ্যের অভিজ্ঞতা আর সম্পূর্ণরূপে প্রযোজ্য নয় এবং একটি নতুন ব্যালেন্স পুনরায় -প্রতিষ্ঠিত করা প্রয়োজন৷
6. আরও মৌলিক বোঝাপড়া
আমরা যদি এই ঘটনাটিকে একটি একক বাক্যে সংক্ষিপ্ত করতে পারি, তাহলে এটি নিম্নরূপ বোঝা যাবে: PVD সিস্টেম একটি "স্মৃতিহীন ইনপুট/আউটপুট সিস্টেম" নয়, বরং একটি গতিশীল সিস্টেম যা ইতিহাস দ্বারা ক্রমাগত প্রভাবিত হয়।
প্যারামিটারগুলি ইনপুটের একটি অংশ মাত্র, যখন "চেম্বার অবস্থা" নিজেই একটি ক্রমাগত বিকশিত অন্তর্নিহিত পরিবর্তনশীল।
7. সারাংশ
চেম্বারের "স্টেট মেমরি" গঠন মূলত তিনটি দীর্ঘ-প্রক্রিয়া থেকে উদ্ভূত হয়: অভ্যন্তরীণ প্রাচীর জমা স্তরের ক্রমাগত বিবর্তন, গ্যাস শোষণ এবং মুক্তির ক্রমাগত চক্র, এবং বারবার প্রক্রিয়া চলাকালীন নিষ্কাশন পথের ধীরে ধীরে দৃঢ়ীকরণ। এই কারণগুলি একসাথে কাজ করে যাতে সিস্টেমটি একটি স্পষ্ট "ইতিহাস নির্ভরতা" প্রদর্শন করে।
8. একটি মূল উপসংহার: আপনি প্রতিবার যে স্রাব অবস্থা দেখেন তা আসলে বর্তমান পরামিতিগুলির ফলাফল নয়, তবে বর্তমান পরামিতিগুলির সুপারপজিশন এবং ঐতিহাসিক সঞ্চিত অবস্থা।
