লেপযুক্ত সাবস্ট্রেটকে সাবস্ট্রেট বলা হয়, এবং প্রলিপ্ত হওয়ার জন্য উপাদানগুলিকে লক্ষ্য বলা হয়। সাবস্ট্রেট এবং লক্ষ্য একই ভ্যাকুয়াম চেম্বারে রয়েছে।
বাষ্পীভবন আবরণ সাধারণত লক্ষ্যটিকে উত্তপ্ত করে যাতে পৃষ্ঠের উপাদানগুলি পারমাণবিক গোষ্ঠী বা আয়নগুলির আকারে বাষ্পীভূত হয়। এবং এটি স্তরটির পৃষ্ঠের উপরে স্থির হয় এবং ফিল্ম গঠনের প্রক্রিয়াটির মাধ্যমে একটি পাতলা ফিল্ম গঠন করে (বিক্ষিপ্ত পয়েন্টগুলি - দ্বীপ কাঠামো - যোনি কাঠামো - স্তরযুক্ত বৃদ্ধি)। স্পটারিং লেপের জন্য, এটি কেবল ইলেক্ট্রন বা উচ্চ -} শক্তি লেজারগুলির সাথে লক্ষ্য বোমা ফেলা এবং পারমাণবিক গোষ্ঠী বা আয়নগুলির আকারে পৃষ্ঠের উপাদানগুলি ছড়িয়ে দেওয়া এবং অবশেষে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা দেওয়া, ফিল্ম ফর্মিং প্রক্রিয়াটির মধ্য দিয়ে এবং অবশেষে একটি পাতলা চলচ্চিত্র গঠন হিসাবে বোঝা যায়।
