1. রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (RF)- PECVD-এর শক্তির উৎস৷
সহজ কথায়, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (RF) হল PECVD এর চালিকা শক্তি; এটি প্লাজমা তৈরি করা যায় কিনা, প্রজন্ম কতটা শক্তিশালী এবং জমা করার দক্ষতা কত বেশি তা নির্ধারণ করে।
2. গ্লো ডিসচার্জ-প্লাজমার "অভিব্যক্তি"
গ্লো ডিসচার্জ একটি দৃশ্যমান হালকা ঘটনা যা প্লাজমা উত্তেজিত হওয়ার পরে স্বাভাবিকভাবে ঘটে।
যখন একটি গ্যাস রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের দ্বারা প্লাজমাতে আয়নিত হয়, তখন ভিতরের ইলেকট্রনগুলি ক্রমাগত উচ্চ এবং নিম্ন শক্তি স্তরের মধ্যে লাফিয়ে উঠবে। এই প্রক্রিয়াটি ফোটন প্রকাশ করে। যখন প্রচুর সংখ্যক ফোটন একত্রিত হয়, তখন তারা পর্যবেক্ষণ জানালা দিয়ে আমরা যে আলো দেখি তা তৈরি করে, যাকে গ্লো বলা হয়।
আভাসজ্জা বা উপজাত নয়; এটি সরাসরি রক্তরসের প্রকৃত অবস্থা প্রতিফলিত করে।
বিভিন্ন গ্যাস, পরামিতি এবং চেম্বারের অবস্থার ফলে প্লাজমা গ্লো এর রঙ, উজ্জ্বলতা এবং অভিন্নতার পরিবর্তন ঘটবে। একটি স্থিতিশীল আভা একটি সুস্থ রক্তরস নির্দেশ করে, যখন ঝিকিমিকি বা অস্বাভাবিক আভা ইঙ্গিত করে সরঞ্জাম বা প্রক্রিয়ার সাথে একটি সমস্যা।
সংক্ষেপে, গ্লো ডিসচার্জ হল প্লাজমার অভিব্যক্তি এবং ভাষা, যা প্রকৌশলীরা ব্যবহার করে বিচার করার জন্য যে সরঞ্জামগুলি স্বাস্থ্যকর এবং প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল কিনা।
গ্লো বিভিন্ন রঙের হতে পারে।
গ্যাসের উপর নির্ভর করে আলোর রঙ পরিবর্তিত হয়।
নিয়ন (নে): ক্লাসিক লাল-কমলা আলো (নিওন আলো) নির্গত করে
আর্গন (Ar): একটি নীলাভ-বেগুনি আলো নির্গত করে।
নাইট্রোজেন (N2): গোলাপী-বেগুনি আলো নির্গত করে।
অক্সিজেন (O2): একটি ফ্যাকাশে হলুদ বা সাদা আলো নির্গত করে।
সোডিয়াম বাষ্প (Na): খুব উজ্জ্বল হলুদ আলো নির্গত করে।
2. রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি এবং গ্লো ডিসচার্জের মধ্যে সম্পর্ক
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি এবং গ্লো ডিসচার্জ দুটি স্বাধীন জিনিস নয়, বরং একটি কার্যকারণ সম্পর্ক, একটি সিম্বিওটিক সম্পর্ক এবং একটি পর্যবেক্ষণ সম্পর্ক রয়েছে।
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি শক্তি সরবরাহ করে এবং প্লাজমা গঠনের কারণ।
গ্লো স্রাব রক্তরসের উপস্থিতির সাথে থাকে এবং এটি রক্তরসের একটি বাহ্যিক প্রকাশ।
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ছাড়া, কোন প্লাজমা নেই, এবং তাই কোন আভা নেই।
একটি স্থিতিশীল এবং অভিন্ন আভা অনুপস্থিতি দুর্বল রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি শক্তি সঞ্চালন, অসম বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বন্টন, এবং অস্বাভাবিক চেম্বারের অবস্থা নির্দেশ করে।
3. সহজতম সারাংশ
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (RF) হল PECVD-এর শক্তি কোর, যা প্লাজমা তৈরি এবং নিয়ন্ত্রণের জন্য দায়ী।
গ্লো ডিসচার্জ হল রক্তরসের একটি রাষ্ট্রীয় অভিব্যক্তি এবং প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল কিনা তা প্রতিফলিত করার জন্য দায়ী।
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্থিতিশীল হলে, গ্লো স্রাব স্থিতিশীল হবে।
স্থিতিশীল গ্লো স্রাব স্থিতিশীল ফিল্মের গুণমান নিশ্চিত করে।
