মাল্টি - আর্ক লেপ মেশিনের কাজের নীতি

মাল্টি - আর্ক লেপ মেশিনটি একাধিক আর্ক উত্স (4 - 16) এর মাধ্যমে উচ্চ - তাপমাত্রা প্লাজমা উত্পন্ন করে, ধাতব উপাদানগুলি বাষ্পীভূত করে এবং দক্ষ লেপ অর্জনের জন্য এটি সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা করে (ফিল্মের বেধের অভ্যাস ± 5%)। এর মূল ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি একটি লেপ চেম্বারে বিভক্ত (ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি 10^- 3pa এর চেয়ে কম বা সমান) এবং একটি প্রিট্রেটমেন্ট চেম্বারে বিভক্ত। প্রাক্তনটি একটি স্বল্প-চাপের পরিবেশ নিশ্চিত করে এবং পরবর্তীটি আঠালো উন্নয়নের জন্য সাবস্ট্রেট পরিষ্কার এবং পলিশিংয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়। মূল প্রক্রিয়া পরামিতিগুলির মধ্যে আর্ক সোর্স পাওয়ার (20-200 এ), সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা (100-300 ডিগ্রি) এবং ডিপোজিশন রেট (1-10nm/s) অন্তর্ভুক্ত রয়েছে, যা সাবস্ট্রেটের আকার (যেমন জটিল বাঁকানো পৃষ্ঠগুলি) এবং উপাদান (ধাতব/সিরামিক) অনুসারে গতিশীলভাবে সামঞ্জস্য করা দরকার। এটি অপটিক্যাল লেন্স অ্যান্টি-রিফ্লেকশন ফিল্ম এবং সরঞ্জাম হার্ড লেপের মতো দৃশ্যের জন্য উপযুক্ত।