অপটিক্যাল লেপ মেশিন

মডেল

এসএফ -800

এসএফ -1200

এসএফ -1400

এসএফ -1600

এসএফডাব্লু -1000

এসএফডাব্লু -1200

এসএফডাব্লু -1600

চেম্বারের আকার

Φ800 × 1000 মিমি

Φ1200 × 1400 মিমি

Φ1400 × 1600 মিমি

Φ1600 × 1800 মিমি

Φ1000 × 1100 মিমি

Φ1200 × 1400 মিমি

Φ1600 × 1800 মিমি

ভ্যাকুয়াম ইউনিট

কেটি 500 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

কেটি 630 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

ডাবল কেটি 630 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

ডাবল কেটি 630 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

কেটি 500 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

কেটি 630 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

ডাবল কেটি 630 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

লেপ সিস্টেম

ইলেক্ট্রন বন্দুক বাষ্পীভবন উত্স, লেপ সহায়ক আয়ন ডেডিকেটেড পাওয়ার সাপ্লাই বা হল আয়ন উত্স

মুদ্রাস্ফীতি ব্যবস্থা

চাপ নিয়ামক

নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি

ম্যানুয়াল বা সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়

ফিল্ম বেধ পর্যবেক্ষণ সিস্টেম

কোয়ার্টজ স্ফটিক ফিল্ম বেধ পর্যবেক্ষণ সিস্টেম

পাম্পিং হার

5 × 10-3pa ﹤ 15 মিনিট

চূড়ান্ত শূন্যতা

3.0x10-4pa

মন্তব্য

উপরের সরঞ্জামের পরামিতিগুলি কেবল রেফারেন্সের জন্য, এবং গ্রাহকদের প্রকৃত প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা অনুসারে ডিজাইন এবং কাস্টমাইজ করা হয়েছে।