ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের বিকৃতি সনাক্তকরণ

মধ্যে ভ্যাকুয়াম চেম্বার বিকৃতি সনাক্তকরণভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিন: পদ্ধতি এবং সিস্টেম পদ্ধতি

ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন ব্যাপকভাবে অপটিক্স, ইলেকট্রনিক্স, মহাকাশ, এবং চিকিৎসা ডিভাইসে ব্যবহৃত হয়। তাদের মূল উপাদান-ভ্যাকুয়াম চেম্বারের-অত্যন্ত কম চাপে (সাধারণত 10⁻³ Pa থেকে 10⁻⁵ Pa) দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীল অপারেশন প্রয়োজন। ভ্যাকুয়ামিং, হিটিং এবং কুলিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, ভ্যাকুয়াম চেম্বার বায়ুমণ্ডলীয় চাপ, তাপীয় চাপ এবং যান্ত্রিক ইনস্টলেশন চাপের সম্মিলিত প্রভাবের শিকার হয়। অত্যধিক বিকৃতি সরাসরি সীল ব্যর্থতা, অত্যধিক ফুটো, এবং লক্ষ্য এবং সাবস্ট্রেটের আপেক্ষিক অবস্থানে পরিবর্তনের দিকে পরিচালিত করবে, এইভাবে ফিল্মের অভিন্নতা এবং সরঞ্জামগুলির নির্ভরযোগ্যতাকে প্রভাবিত করবে। অতএব, ভ্যাকুয়াম চেম্বারের পদ্ধতিগত এবং সঠিক বিকৃতি সনাক্তকরণ আবরণ মেশিনের কর্মক্ষমতা এবং জীবনকাল নিশ্চিত করার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ। এই নিবন্ধটি পদ্ধতিগতভাবে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের বিকৃতির কারণ, সনাক্তকরণ পদ্ধতি পদ্ধতি, মানক পদ্ধতি এবং সাধারণ যন্ত্রগুলি বর্ণনা করে, যার লক্ষ্য ভ্যাকুয়াম সরঞ্জামগুলির নকশা, গ্রহণযোগ্যতা এবং রক্ষণাবেক্ষণের জন্য একটি রেফারেন্স প্রদান করা।
 

এক. ভ্যাকুয়াম চেম্বারের বিকৃতির প্রধান কারণ
ভ্যাকুয়াম চেম্বারগুলি সাধারণত ঢালাই করা স্টেইনলেস স্টিল (304, 316L) বা অ্যালুমিনিয়াম খাদ থেকে তৈরি করা হয়। তাদের গঠনে দরজা, জানালা, ইলেক্ট্রোড ইনলেট ফ্ল্যাঞ্জ, গরম করার উপাদান এবং ঘূর্ণন প্রক্রিয়ার মতো খোলা এবং দুর্বল পয়েন্টগুলি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। বিকৃতির প্রধান চালিকা শক্তিগুলির মধ্যে রয়েছে:

বায়ুমণ্ডলীয় চাপের পার্থক্য: ভ্যাকুয়াম করার পরে, ভিতরে এবং বাইরের মধ্যে চাপের পার্থক্য 0.1 MPa-এ পৌঁছাতে পারে, প্রাচীরের প্যানেল, দরজা এবং জানালাগুলিকে অভিন্ন চাপের উপর নির্ভর করে। পাতলা-প্রাচীরযুক্ত বা অনাবৃত অঞ্চলগুলি স্থিতিস্থাপক বা প্লাস্টিকের বিকৃতির প্রবণ।

থার্মাল লোড: আবরণ প্রক্রিয়ার জন্য 150-200 ডিগ্রি (বা তারও বেশি) গরম করার প্রয়োজন হয়, যার ফলে শীতল হওয়ার সময় একটি উল্লেখযোগ্য তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট হয়। বিভিন্ন এলাকায় তাপীয় সম্প্রসারণের সহগগুলির পার্থক্য এবং সীমাবদ্ধতা তাপীয় চাপ সৃষ্টি করে, যার ফলে বিক্ষিপ্ত বা স্থানীয়ভাবে বুলগের সৃষ্টি হয়।

সমাবেশ এবং ঢালাই থেকে অবশিষ্ট চাপ: ঢালাইয়ের অবশিষ্ট স্ট্রেস ভ্যাকুয়াম করার পরে মুক্তি পায়, স্থানীয় বিকৃতিকে ত্বরান্বিত করে।

উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি কম্পন বা প্রভাব: ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং ঘূর্ণায়মান যান্ত্রিক অংশগুলি থেকে কম্পন ক্লান্তি বিকৃতি ঘটাতে পারে।

উপরের কারণগুলি প্রায়শই একসাথে কাজ করে, তাই বিকৃতি পরীক্ষা অবশ্যই স্ট্যাটিক স্ট্রাকচারাল শক্তি, থার্মো-যান্ত্রিক সংযোগ আচরণ এবং দীর্ঘ-স্থায়ীতাকে কভার করতে হবে।

দুই. বিকৃতি সনাক্তকরণ পদ্ধতির শ্রেণীবিভাগ এবং প্রযুক্তিগত নীতি
পরিমাপের নীতি, যোগাযোগের পদ্ধতি এবং প্রযোজ্য পর্যায়গুলির উপর ভিত্তি করে, মূলধারার সনাক্তকরণ পদ্ধতিগুলিকে পাঁচটি বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে: সিমুলেশন বিশ্লেষণ, যোগাযোগ জ্যামিতিক পরিমাপ, অপটিক্যাল নন-যোগাযোগ পরিমাপ, স্ট্রেন পর্যবেক্ষণ, এবং লিক-সংক্রান্ত নির্ণয়।

2.1 সসীম উপাদান সিমুলেশন: বিকৃতি সনাক্তকরণের জন্য একটি "প্রিভিউ"
নকশা বা পরিবর্তন পর্বের সময়, প্রথম পদক্ষেপটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারের একটি CAD মডেল স্থাপন করা, এটিকে জাল করা, প্রকৃত প্রক্রিয়া থেকে চাপ এবং তাপমাত্রার সীমানা শর্ত প্রয়োগ করা এবং একটি ননলিনিয়ার সলভার ব্যবহার করে বিকৃতি গণনা করা উচিত। সিমুলেশন একটি সামগ্রিক স্থানচ্যুতি কনট্যুর মানচিত্র, স্ট্রেস ঘনত্বের অবস্থান এবং দুর্বল পয়েন্ট প্রদান করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, একটি আয়তক্ষেত্রাকার ভ্যাকুয়াম চেম্বারের জন্য, সিমুলেশনটি দরজার প্যানেলের কেন্দ্রে সর্বাধিক বিচ্যুতির পূর্বাভাস দিতে পারে। এই পদক্ষেপটি সনাক্তকরণের কাজকে প্যাসিভ পরিমাপ থেকে সক্রিয় প্রতিরোধে রূপান্তরিত করে, পরবর্তী শারীরিক পরীক্ষায় অন্ধ দাগগুলি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

2.2 শারীরিক যাচাই:

স্ট্যাটিক থেকে ডায়নামিক স্ট্যাটিক ভ্যাকুয়াম ডিফর্মেশন টেস্টের সম্পূর্ণ পরিমাপ: টেস্ট বেঞ্চে ভ্যাকুয়াম চেম্বার রাখুন এবং বাহ্যিক প্রাচীরের প্যানেল, দরজা এবং ভিউয়িং ফ্ল্যাঞ্জের কয়েকটি মূল পয়েন্টে ডায়াল ইন্ডিকেটর বা লেজার ডিসপ্লেসমেন্ট সেন্সর ঠিক করুন। ধীরে ধীরে চূড়ান্ত ভ্যাকুয়ামে স্থানান্তর করুন এবং বায়ুমণ্ডলীয় চাপ → কম ভ্যাকুয়াম → উচ্চ শূন্যতার প্রক্রিয়া চলাকালীন প্রতিটি বিন্দুতে স্থানচ্যুতি পরিবর্তনগুলি রেকর্ড করুন। সর্বাধিক বিকৃতি সাধারণত ডিজাইনের অনুমোদনযোগ্য মান অতিক্রম না করার প্রয়োজন হয় (যেমন, প্রাচীর প্যানেলের বিচ্যুতি 0.5 মিমি/মি এর চেয়ে কম বা সমান)। এই পদ্ধতিটি ওয়েল্ডের অনমনীয়তা এবং স্টিফেনার বিন্যাসের যৌক্তিকতা যাচাই করার একটি প্রত্যক্ষ মাধ্যম।

উচ্চ-নির্ভুল লেজার ক্রমাঙ্কন
নির্ভুল আবরণ মেশিনের জন্য (যেমন ফটোলিথোগ্রাফি এবং লেজার মিরর লেপ), বিকৃতি মাইক্রোমিটার স্তরে নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন। এই ক্ষেত্রে, একটি লেজার অটোকলিমেটর ব্যবহার করা হয়: ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরের দেয়ালে একটি আয়না মাউন্ট করা হয়, এবং একটি লেজার রশ্মি একটি উত্সর্গীকৃত জানালার মধ্য দিয়ে আয়নায় জ্বলে। প্রতিফলিত স্পটটির অবস্থান একটি রিসিভিং স্ক্রিন বা সিসিডি দ্বারা রেকর্ড করা হয়। স্থানান্তরের আগে এবং পরে স্পটটির অফসেট কোণটিকে একটি প্লেন টিল্টে রূপান্তর করা যেতে পারে। একাধিক সেট আয়না দিয়ে, গহ্বরের ত্রিমাত্রিক কৌণিক বিকৃতি পাওয়া যায়। উন্নত সিস্টেমগুলি ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে সক্রিয় অপটিক্যাল সারিবদ্ধতা অর্জনের জন্য উচ্ছেদের আগে ক্ষতিপূরণের পরিমাণও প্রিসেট করে।
 

তাপীয়-কাঠামো সংযোগ পরীক্ষা (গতিশীল অবস্থা):
প্রকৃত আবরণের তাপ চক্রের অনুকরণ: ভ্যাকুয়াম স্তর বজায় রাখার সময় ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি ঘরের তাপমাত্রা থেকে অপারেটিং তাপমাত্রায় (যেমন, 200 ডিগ্রি) গরম করা হয় হিটিং বেল্ট, ইনফ্রারেড ল্যাম্প বা বেকিং সিস্টেম ব্যবহার করে। তাপমাত্রা বন্টন এবং স্থানীয় স্ট্রেন রেকর্ড করার জন্য থার্মোকল এবং স্ট্রেন গেজগুলি ভিতরের এবং বাইরের দেয়ালে স্থাপন করা হয়। একটি ইনফ্রারেড থার্মাল ইমেজার দ্রুত গরম এবং ঠাণ্ডা এলাকা শনাক্ত করতে পারে এবং অসম তাপমাত্রা বৃদ্ধি আছে কিনা তা নির্ধারণ করতে পারে। এই পরীক্ষাটি বিকৃতির সমস্যাগুলি সনাক্ত করতে পারে যা শুধুমাত্র ঘরের তাপমাত্রা ভ্যাকুয়াম পরীক্ষার দ্বারা প্রকাশ করা যায় না, যেমন হিটিং টিউবের কাছাকাছি স্থানীয় বুলেজগুলি সাবস্ট্রেট এবং লক্ষ্যের মধ্যে দূরত্বের পরিবর্তন ঘটায়।

ডিজিটাল ইমেজ পারস্পরিক সম্পর্ক ব্যবহার করে সম্পূর্ণ-ক্ষেত্র বিকৃতি পরিমাপ (DIC) সাম্প্রতিক বছরগুলিতে একটি দ্রুত বিকাশমান কৌশল। এর মধ্যে একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারের বাইরের পৃষ্ঠে একটি এলোমেলো দাগের প্যাটার্ন স্প্রে করা, দুই বা ততোধিক উচ্চ রেজোলিউশন ক্যামেরা ব্যবহার করে ভ্যাকুয়াম বা গরম করার প্রক্রিয়ার সময় বাস্তব-ছবি তোলা, এবং তারপরে একটি দুই বা তিন মাত্রার প্রাপ্ত করার জন্য সফ্টওয়্যার ব্যবহার করে স্পেকল ডিসপ্লেসমেন্ট ফিল্ড গণনা করা{}5} সম্পূর্ণ-ক্ষেত্র বিকৃতি ক্লাউড মানচিত্র। এই পদ্ধতিটি যোগাযোগহীন এবং ভরবিহীন, এটি জটিল আকারের (যেমন চাঙ্গা নলাকার গহ্বরের মতো) সামগ্রিক বিকৃতি প্যাটার্ন বিশ্লেষণের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে।
 

2.3 লিকেজ পারস্পরিক সম্পর্ক সনাক্তকরণ: কার্যকারিতার উপর বিকৃতির প্রভাবের চূড়ান্ত মূল্যায়ন

এমনকি যদি পরিমাপ করা বিকৃতি অনুমোদিত সীমার মধ্যে থাকে, তবুও সিলিং কার্যকারিতা অবশ্যই যাচাই করা উচিত। সর্বাধিক ব্যবহৃত পদ্ধতি হল হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমেট্রি লিক সনাক্তকরণ: ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম স্তরে খালি করা হয়, এবং হিলিয়াম গ্যাসকে সন্দেহজনক ঢালাই, ফ্ল্যাঞ্জ এবং দরজার সিলে ইনজেকশন দেওয়া হয়। লিক ডিটেক্টর রিডিং পরিবর্তন স্থানীয় ফুটো হার প্রতিফলিত. মোট ফুটো হার ডিজাইনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করা উচিত (সাধারণত 1×10−7 Pa⋅m³/s এর চেয়ে ভাল)।

যখন বিকৃতি সিলিং রিং বা জোড়ের মাইক্রোক্র্যাকগুলির অসম সংকোচনের দিকে পরিচালিত করে, তখন ফুটো হওয়ার হার অস্বাভাবিকভাবে বৃদ্ধি পাবে। অতএব, বিকৃতি প্রকৃত ব্যবহারকে প্রভাবিত করে কিনা তা নির্ধারণের জন্য ফাঁস সনাক্তকরণ চূড়ান্ত ভিত্তি।
 

তিন. স্ট্যান্ডার্ড টেস্টিং পদ্ধতি এবং প্রকল্প চক্র

একটি সম্পূর্ণ ভ্যাকুয়াম চেম্বার বিকৃতি পরীক্ষার প্রকল্প সাধারণত এই পদক্ষেপগুলি অনুসরণ করে:

**স্কিম ডিজাইন:** পরীক্ষার উদ্দেশ্য সংজ্ঞায়িত করুন (শুধুমাত্র স্ট্যাটিক? তাপ সাইক্লিং সহ?), মূল পরীক্ষার অবস্থান, অনুমোদনযোগ্য বিকৃতি এবং রেফারেন্স মান (যেমন, GB/T 3163, ISO 3529, ASTM E595)।

**সিমুলেশন প্রাক-বিশ্লেষণ:** সর্বাধিক বিকৃতি এলাকা এবং জটিল অপারেটিং অবস্থা নির্ধারণ করতে সীমিত উপাদান বিশ্লেষণ পরিচালনা করুন।

**প্রস্তুতি এবং ইনস্টলেশন:** ভ্যাকুয়াম চেম্বার পরিষ্কার করুন, সেন্সর ইনস্টল করুন (ডায়াল গেজ, স্ট্রেন গেজ, থার্মোকল, অপটিক্যাল টার্গেট) এবং ডেটা অধিগ্রহণ সিস্টেম সংযুক্ত করুন।

**বেঞ্চমার্ক পরিমাপ:** স্বাভাবিক চাপে প্রাথমিক জ্যামিতিক অবস্থা রেকর্ড করুন (কোঅর্ডিনেট মেজারিং মেশিন বা লেজার ট্র্যাকার ব্যবহার করে)।

**স্ট্যাটিক ভ্যাকুয়াম পরিমাপ:** চূড়ান্ত ভ্যাকুয়ামে স্থানান্তর করুন এবং সেন্সর রিডিং রেকর্ড করুন; 1-2 ঘন্টার জন্য চাপ বজায় রাখুন এবং বিকৃতি প্রবাহ নিরীক্ষণ করুন।

**থার্মাল সাইক্লিং পরিমাপ (যদি প্রয়োজন হয়):** ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে সেট তাপমাত্রায় তাপ এবং 2-4 ঘন্টা ধরে বজায় রাখুন, তাপমাত্রা, স্ট্রেন এবং স্থানচ্যুতি রেকর্ড করা; ঘরের তাপমাত্রায় প্রাকৃতিক শীতল করার অনুমতি দিন এবং অবশিষ্ট বিকৃতির জন্য পরীক্ষা করুন।

লেজার যথার্থ ক্রমাঙ্কন: অপটিক্যাল আবরণ মেশিনে লেজার অটোকলিমেশন বা ইন্টারফেরোমেট্রি পরিমাপ সম্পাদন করুন এবং প্রয়োজনে ভ্যাকুয়ামের অধীনে অপটিক্যাল পাথকে ক্ষতিপূরণ দিন।

ফুটো সনাক্তকরণ: মোট ফুটো হার এবং স্থানীয় লিক সনাক্ত করতে একটি হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমিটার ব্যবহার করুন।

ডেটা অ্যানালাইসিস এবং রিপোর্টিং: ডিজাইন স্পেসিফিকেশন পূরণ হয়েছে কিনা তা মূল্যায়ন করতে সিমুলেশন এবং পরিমাপ করা ডেটা তুলনা করুন এবং রক্ষণাবেক্ষণ বা অপ্টিমাইজেশান পরামর্শ প্রদান করুন।
 

চার. সনাক্তকরণ নির্ভুলতা উন্নত করার মূল ব্যবস্থা

তাপমাত্রা ক্ষতিপূরণ: বিকৃতি পরিমাপ পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা, বিশেষ করে স্ট্রেন গেজ এবং ডায়াল গেজ দ্বারা উল্লেখযোগ্যভাবে প্রভাবিত হয়। ঘরের তাপমাত্রা পরিবর্তন অবশ্যই রেকর্ড করতে হবে এবং প্রয়োজনে তাপমাত্রা ক্ষতিপূরণ গেজ বা সংশোধন অ্যালগরিদম ব্যবহার করা উচিত।

মাল্টি-পয়েন্ট রিডানডেন্সি: বিভিন্ন নীতির উপর ভিত্তি করে কমপক্ষে দুটি সেন্সর (যেমন, লেজার + স্ট্রেন গেজ) ডেটার ক্রস-বৈধকরণের জন্য মূল স্থানে স্থাপন করা উচিত।

প্রাক- ভ্যাকুয়ামিং এবং স্ট্যাবিলাইজেশন: ভ্যাকুয়াম করার পরে, রিডিং নেওয়ার আগে স্থিতিস্থাপক বিকৃতি এবং তাপীয় ভারসাম্য স্থিতিশীল করার জন্য পর্যাপ্ত সময় (সাধারণত 1-2 ঘন্টা) দেওয়া উচিত।

নিয়মিত ক্রমাঙ্কন: সমস্ত দৈর্ঘ্য সেন্সর, স্ট্রেন গেজ এবং লিক ডিটেক্টরগুলিকে নির্ধারিত সময়সূচী অনুসারে ক্রমাঙ্কনের জন্য একটি মেট্রোলজি প্রতিষ্ঠানে পাঠানো উচিত।
 

পাঁচ. উপসংহার ভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিনে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের বিকৃতি সনাক্তকরণ একটি বিস্তৃত প্রক্রিয়া যা সিমুলেশন পূর্বাভাস এবং শারীরিক যাচাই, স্থানীয় বিন্দু পরিমাপ এবং সম্পূর্ণ-ক্ষেত্রের গতিশীল বিশ্লেষণ, এবং জ্যামিতিক পরিমাপ পাশাপাশি ফুটো সনাক্তকরণকে অন্তর্ভুক্ত করে। সনাক্তকরণ পদ্ধতির উপযুক্ত নির্বাচন (ডায়াল সূচক সহ প্রাথমিক স্ক্রীনিং, নির্ভুল লেজার ক্রমাঙ্কন, পূর্ণ-ক্ষেত্র ডিআইসি বিশ্লেষণ, স্ট্রেন গেজ থার্মাল সাইক্লিং নিরীক্ষণ, এবং চূড়ান্ত হিলিয়াম লিক সনাক্তকরণ) এবং প্রমিত পদ্ধতির আনুগত্য সঠিকভাবে বিকৃতির অবস্থার মূল্যায়ন করতে পারে এবং সহ প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে পারে। অপটিক্যাল আবরণ এবং সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের ক্রমবর্ধমান নির্ভুলতার প্রয়োজনীয়তার সাথে, উচ্চ-নির্ভুলতা নন-যোগাযোগ পরিমাপ (যেমন লেজার ইন্টারফেরোমেট্রি এবং ডিআইসি) এবং থার্মো-যান্ত্রিক কাপলিং সিমুলেশনগুলি আরও ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হবে৷ ডিজাইন, ম্যানুফ্যাকচারিং এবং রক্ষণাবেক্ষণ কর্মীদের আরও দক্ষ ত্রুটি প্রতিরোধ এবং কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজেশান অর্জনের জন্য ভ্যাকুয়াম সরঞ্জামগুলির সমগ্র জীবনচক্র পরিচালনার একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ হিসাবে বিকৃতি সনাক্তকরণকে বিবেচনা করা উচিত।

আরও মেশিন তথ্য ভিডিও অনুগ্রহ করে আমাদের Tiktok ওয়েবসাইট দেখুন: https://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine?lang=zh-হ্যান্স, ধন্যবাদ।