ম্যাগনেট্রন স্পুটারড ফিল্মের সাধারণ সমস্যাগুলির সমাধান করা

ফিল্ম স্তর নিস্তেজ এবং কালো হয়.

(1) ভ্যাকুয়াম লেভেল 0.67 Pa এর নিচে। ভ্যাকুয়াম লেভেল 0.13-0.4 Pa-তে বাড়ানো উচিত।

(2) আর্গন বিশুদ্ধতা 99.9% এর নিচে। 99.99% বিশুদ্ধতার সাথে আর্গন ব্যবহার করা উচিত।

(3) গ্যাস ফিলিং সিস্টেম লিকেজ। গ্যাস ফিলিং সিস্টেম পরীক্ষা করা উচিত এবং ফুটো নির্মূল করা উচিত।

(4) প্রাইমার সম্পূর্ণরূপে নিরাময় না. প্রাইমারের নিরাময়ের সময় যথাযথভাবে বাড়ানো উচিত।

(5) ধাতুপট্টাবৃত অংশ থেকে অত্যধিক venting. শুকানো এবং সিলিং চিকিত্সা সঞ্চালিত করা উচিত। ফিল্ম স্তর পৃষ্ঠ একটি নিস্তেজ গ্লস আছে।

(6) খারাপভাবে নিরাময় বা ক্ষয়প্রাপ্ত প্রাইমার। প্রাইমারের নিরাময়ের সময় যথাযথভাবে বাড়ানো উচিত বা প্রাইমারটি প্রতিস্থাপন করা উচিত।

(7) স্পুটারিং সময় খুব দীর্ঘ. এটি যথাযথভাবে সংক্ষিপ্ত করা উচিত।

(8) স্পুটারিং ফিল্ম গঠনের গতি খুব দ্রুত। স্পুটারিং কারেন্ট বা ভোল্টেজ যথাযথভাবে হ্রাস করা উচিত।

অসম ফিল্ম রঙ

(1) অসম প্রাইমার প্রয়োগ। প্রাইমার প্রয়োগ পদ্ধতি উন্নত করা উচিত।

(2) ফিল্ম স্তর খুব পাতলা. স্পাটারিং স্পিড যথাযথভাবে বাড়ানো উচিত বা স্পুটারিং সময় বাড়ানো উচিত।

(3) অনুপযুক্ত ফিক্সচার নকশা. ফিক্সচার ডিজাইন উন্নত করা উচিত।

(4) ধাতুপট্টাবৃত অংশের জ্যামিতি অত্যন্ত জটিল। ধাতুপট্টাবৃত অংশের ঘূর্ণন গতি যথাযথভাবে বৃদ্ধি করা উচিত।
 

কুঁচকানো এবং ফাটল ফিল্ম

(1) প্রাইমার খুব ঘনভাবে প্রয়োগ করা হয়। বেধ 7-10 ট্যানের সীমার মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা উচিত।

(2) পেইন্টের সান্দ্রতা খুব বেশি। এটি যথাযথভাবে হ্রাস করা উচিত।

(3) বাষ্পীভবনের হার খুব দ্রুত। এটি যথাযথভাবে ধীর করা উচিত।

(4) ফিল্ম খুব পুরু. sputtering সময় যথাযথভাবে সংক্ষিপ্ত করা উচিত.

(5) ধাতুপট্টাবৃত অংশের তাপমাত্রা খুব বেশি। ধাতুপট্টাবৃত অংশ গরম করার সময় যথাযথভাবে সংক্ষিপ্ত করা উচিত।
 

জলছাপ, আঙুলের ছাপ, এবং ধূলিকণা আবরণ পৃষ্ঠে উপস্থিত থাকে।

(1) ধাতুপট্টাবৃত অংশগুলি পরিষ্কার করার পরে পর্যাপ্ত পরিমাণে শুকানো হয়নি। প্রাক-প্লেটিং চিকিত্সা জোরদার করা উচিত।

(2) জলের ফোঁটা বা লালা প্রলেপযুক্ত অংশগুলিতে ছড়িয়ে পড়ে। সভ্য উৎপাদন জোরদার করতে হবে; অপারেটরদের মাস্ক পরতে হবে।

(3) প্রাইমারের সাথে হাতের যোগাযোগের পরে আঙুলের ছাপগুলি প্রলেপযুক্ত অংশগুলিতে রেখে দেওয়া হয়। ধাতুপট্টাবৃত অংশ সঙ্গে হাত যোগাযোগ কঠোরভাবে নিষিদ্ধ করা উচিত.

(4) পেইন্টে কণা পদার্থ রয়েছে। পেইন্ট ফিল্টার বা প্রতিস্থাপন করা উচিত।

(5) ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ধুলো অপসারণ অকার্যকর, বা স্প্রে করা এবং নিরাময়কারী পরিবেশে কণা ধুলো আছে। ধুলো সংগ্রাহক প্রতিস্থাপন করা উচিত, এবং কাজের পরিবেশ পরিষ্কার রাখা উচিত।

দরিদ্র ফিল্ম আনুগত্য

(1) workpiece অসম্পূর্ণ degreasing. প্রাক-প্লেটিং চিকিত্সা জোরদার করা উচিত।

(2) অপরিষ্কার ভ্যাকুয়াম চেম্বার। ভ্যাকুয়াম চেম্বার পরিষ্কার করতে হবে। এটি লক্ষ্য করা গুরুত্বপূর্ণ যে লক্ষ্য লোডিং এবং আনলোডিংয়ের সময়, হাত বা অপরিষ্কার বস্তুগুলি ম্যাগনেট্রন উত্সের সংস্পর্শে আসবে না যাতে এর উচ্চ পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করা যায়, যা ফিল্ম আনুগত্য উন্নত করার অন্যতম প্রধান পদক্ষেপ।

(3) অপরিষ্কার ফিক্সচার। ফিক্সচার পরিষ্কার করা উচিত।

(4) অনুপযুক্ত প্রাইমার নির্বাচন। প্রাইমার প্রতিস্থাপন করা উচিত।

(5) অনুপযুক্ত sputtering প্রক্রিয়া শর্ত. স্পুটারিং প্রক্রিয়ার অবস্থার উন্নতি করা উচিত।