ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জামগুলি সাধারণত হার্ড ফিল্ম, আলংকারিক ফিল্ম, আইটিও ফিল্ম, ব্যান্ডপাস ফিল্টার এবং এইচআর ফিল্ম সহ AR/AF আবরণ জমা করার জন্য ব্যবহৃত হয়। এটি উচ্চ দক্ষতা, শক্তিশালী উৎপাদন ক্ষমতা এবং কম উৎপাদন খরচের মতো সুবিধার গর্ব করে। AR ফিল্মগুলির জন্য (সাবস্ট্রেট গ্লাস ট্রান্সমিট্যান্স > 91.5%), 420-680nm তরঙ্গদৈর্ঘ্য ব্যান্ডে, একক-পার্শ্বীয় গড় ট্রান্সমিট্যান্স > 95% এবং প্রতিফলন <0.5% (গড়)। দ্বিমুখী গড় ট্রান্সমিট্যান্স > 98% এবং প্রতিফলন <0.5% (গড়)। এটি ব্যাপক বাজার অ্যাপ্লিকেশন আছে.
ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ প্রযুক্তির মধ্যে বাষ্পীভবনকারী উপাদানকে একটি জলে-ঠান্ডা স্টিলের ক্রুসিবলে রাখা এবং একটি ইলেক্ট্রন রশ্মি দিয়ে সরাসরি গরম করা জড়িত৷ বাষ্পীভবনকারী উপাদানটি বাষ্পীভূত হয় এবং তারপর একটি ফিল্ম তৈরি করতে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের উপর ঘনীভূত হয়। এটি একটি গুরুত্বপূর্ণ গরম করার পদ্ধতি এবং ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ প্রযুক্তিতে একটি উন্নয়নশীল প্রবণতা। ইলেক্ট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন প্রচলিত প্রতিরোধের গরম করার বাষ্পীভবনের অনেক ত্রুটিগুলি কাটিয়ে ওঠে এবং উচ্চ-গলানোর-বিন্দু এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতা পাতলা ফিল্ম উপাদান তৈরির জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত।
ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন প্রযুক্তি, যা ইলেকট্রন রশ্মি বোমাবাজি বাষ্পীভবনের উপর নির্ভর করে, রিং বন্দুক, সোজা বন্দুক, ই-টাইপ বন্দুক এবং ফাঁপা ক্যাথোড ইলেক্ট্রন বন্দুক সহ ইলেক্ট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উত্সের ফর্মের উপর ভিত্তি করে আরও কয়েকটি প্রকারে শ্রেণীবদ্ধ করা যেতে পারে।
একটি রিং বন্দুক একটি রিং-আকৃতির ক্যাথোড থেকে একটি ইলেক্ট্রন রশ্মি নির্গত করে। ফোকাসড এবং ডিফ্লেক্ট হওয়ার পরে, মরীচি একটি ক্রুসিবলকে আঘাত করে, যার ফলে ধাতুটি বাষ্পীভূত হয়। এর গঠন তুলনামূলকভাবে সহজ, কিন্তু এর শক্তি এবং কার্যকারিতা কম, এটি প্রাথমিকভাবে একটি পরীক্ষাগার ডিভাইস তৈরি করে; এটা আর উৎপাদন সুবিধা ব্যবহার করা হয় না.
একটি সরল বন্দুক হল একটি অক্ষ-প্রতিসম রৈখিক ত্বরণকারী যেখানে ফিলামেন্ট ক্যাথোড থেকে ইলেকট্রন নির্গত হয়, একটি সূক্ষ্ম মরীচিতে ফোকাস করা হয়, অ্যানোড দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং তারপরে একটি ক্রুসিবলকে আঘাত করে, আবরণ উপাদানটিকে গলে এবং বাষ্পীভূত করে। স্ট্রেইট বন্দুকের শক্তি কয়েকশ ওয়াট থেকে কয়েকশ কিলোওয়াট পর্যন্ত; কিছু ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবনের জন্য ব্যবহৃত হয়, অন্যগুলি ভ্যাকুয়াম গলানোর জন্য ব্যবহৃত হয়। সোজা বন্দুকের অসুবিধা হল যে বাষ্পীভূত উপাদান বন্দুকের কাঠামোকে দূষিত করতে পারে, যার ফলে অপারেশনাল অস্থিরতা তৈরি হয়। উপরন্তু, ফিলামেন্ট থেকে বেরিয়ে আসা সোডিয়াম আয়নগুলিও আবরণকে দূষিত করতে পারে। সম্প্রতি, একটি পশ্চিম জার্মান কোম্পানী ইলেক্ট্রন রশ্মির প্রস্থানে একটি বিচ্যুত চৌম্বক ক্ষেত্র যোগ করে এবং ফিলামেন্টে একটি স্বাধীন নির্বাসন ব্যবস্থা অন্তর্ভুক্ত করে সোজা বন্দুকের একটি উন্নত সংস্করণ তৈরি করেছে। এটি শুধুমাত্র আবরণের ফিলামেন্ট দূষণকে সম্পূর্ণরূপে দূর করে না বরং বন্দুকের জীবনকালকেও উন্নত করে।
ই ই-টাইপ ইলেক্ট্রন বন্দুক উচ্চ শক্তির ঘনত্ব তৈরি করতে পারে, উচ্চ-গলানোর-বিন্দু ধাতু গলতে পারে এবং উচ্চ-শক্তির বাষ্পীভবন কণা তৈরি করতে পারে, যার ফলে ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে একটি শক্তিশালী বন্ধন এবং ভাল ফিল্মের গুণমান তৈরি হয়। অসুবিধাগুলি হল যে ইলেক্ট্রন বন্দুকের জন্য একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং নেতিবাচক উচ্চ ভোল্টেজ প্রয়োজন, যা জটিল সরঞ্জাম কাঠামো, দুর্বল নিরাপত্তা, রক্ষণাবেক্ষণে অসুবিধা এবং উচ্চ খরচের দিকে পরিচালিত করে।
ফাঁপা ক্যাথোড ইলেকট্রন বন্দুক একটি প্লাজমা ইলেকট্রন রশ্মি ব্যবহার করে যা একটি কম{0}}ভোল্টেজ, উচ্চ-বর্তমান ফাঁপা ক্যাথোড নিঃসরণ দ্বারা উত্পন্ন হয়। এটি ক্যাথোড হিসাবে একটি ফাঁপা ট্যানটালাম টিউব, অ্যানোড হিসাবে একটি ক্রুসিবল এবং ট্যানটালাম টিউবের কাছে একটি সহায়ক অ্যানোড ব্যবহার করে। ফাঁপা ক্যাথোড ইলেক্ট্রন বন্দুক ব্যবহার করে বাষ্প জমা করার সময়, উত্পন্ন বাষ্পীভবন আয়নগুলির উচ্চ শক্তি এবং উচ্চ আয়নকরণ হার থাকে, যার ফলে উচ্চমানের ফিল্ম হয়। ফাঁপা ক্যাথোড ইলেক্ট্রন বন্দুকের জন্য e-টাইপ ইলেক্ট্রন বন্দুকের চেয়ে কম ভ্যাকুয়াম স্তরের প্রয়োজন হয় এবং কম ভোল্টেজে কাজ করে, যা যন্ত্রপাতিকে তুলনামূলকভাবে সহজ, নিরাপদ এবং কম ব্যয়বহুল করে তোলে। বর্তমানে, ই-টাইপ এবং ফাঁপা ক্যাথোড ইলেকট্রন বন্দুক উভয়ই আমাদের দেশে বাষ্প জমা এবং আয়ন প্লেটিং সরঞ্জামগুলিতে সফলভাবে প্রয়োগ করা হয়েছে। বন্দুকের শক্তি হাজার হাজার কিলোওয়াট পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে এবং যন্ত্রপাতি ও ইলেকট্রনিক্সের মতো শিল্পের জন্য বিভিন্ন পাতলা ফিল্ম জমা করা হয়েছে।
ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জামে বাষ্পীভবন উত্সের সুবিধাগুলি হল:
1) ইলেক্ট্রন রশ্মি বোমাবাজি তাপ উত্স একটি উচ্চ মরীচি বর্তমান ঘনত্ব আছে, প্রতিরোধের গরম উত্স তুলনায় অনেক উচ্চ শক্তি ঘনত্ব অর্জন. এটি একটি উচ্চ বাষ্পীভবন হার সহ 3000 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত উপকরণ বাষ্পীভূত করতে পারে;
2) যেহেতু বাষ্পীভূত হওয়া উপাদানটি জলের-ঠান্ডা ক্রুসিবলের মধ্যে রাখা হয়, তাই ধারক উপাদানের বাষ্পীভবন এবং ধারক উপাদান এবং বাষ্পীভবন উপাদানের মধ্যে প্রতিক্রিয়া এড়ানো হয়, যা আবরণের বিশুদ্ধতা উন্নত করার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ;
3) তাপ সরাসরি বাষ্পীভবন উপাদানের পৃষ্ঠে প্রয়োগ করা যেতে পারে, যার ফলে তাপ সঞ্চালন এবং বিকিরণের মাধ্যমে উচ্চ তাপ দক্ষতা এবং সর্বনিম্ন ক্ষতি হয়।
