একটি ionization ভ্যাকুয়াম গেজ উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিমাপের জন্য একটি মূল উপাদান। এটি গ্যাসের অণুগুলিকে আয়নিত করে এবং ফলে আয়ন প্রবাহ পরিমাপ করে ভ্যাকুয়াম স্তর নির্ধারণ করে। বিভিন্ন আয়নকরণ পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে, এটি প্রধানত নিম্নলিখিত দুটি বিভাগে বিভক্ত:
এক. হট ক্যাথোড আয়নাইজেশন ভ্যাকুয়াম গেজ
কাজের নীতি: একটি উত্তপ্ত ফিলামেন্ট (ক্যাথোড) থার্মিয়নিক ইলেকট্রন নির্গত করে। এই ইলেক্ট্রনগুলি পর্যাপ্ত শক্তি অর্জন করে যখন তারা অ্যানোড গ্রিডের দিকে উড়ে যায়, গ্যাসের অণুর সাথে সংঘর্ষ করে এবং তাদের আয়নাইজ করে। ফলে আয়ন কারেন্ট সংগ্রহ ইলেক্ট্রোডে পরিমাপ করা হয়; এই কারেন্ট গ্যাসের চাপের সমানুপাতিক।
সুবিধা:সঠিক পরিমাপ, ভাল স্থায়িত্ব, এবং চমৎকার রৈখিকতা; এটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিমাপের জন্য মূলধারার পছন্দ।
অসুবিধা:
এক্স-রশ্মির প্রভাব: অ্যানোড গ্রিডে আঘাতকারী ইলেকট্রনগুলি নরম এক্স-রশ্মি তৈরি করে, যা সংগ্রাহক ইলেক্ট্রোডকে বিকিরিত করে, ফটোইলেক্ট্রন নির্গমনকে ট্রিগার করে এবং একটি স্বাধীন "পটভূমি বর্তমান" চাপ তৈরি করে। এর ফলে অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়ামের (প্রায়<10⁻⁸ Pa).
রাসায়নিক অপসারণ: ফিলামেন্টের উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের অণুগুলিকে (যেমন অক্সিজেন) বিচ্ছিন্ন করে এবং শোষণ করে, একটি "ভ্যাকুয়াম প্রভাব" তৈরি করে যা প্রকৃত চাপকে প্রভাবিত করে।
Filament burnout risk: Under higher pressures (e.g., >10⁻² Pa) বা বায়ুমণ্ডলে হঠাৎ এক্সপোজার, ভাস্বর ফিলামেন্ট অক্সিডেশন এবং বার্নআউট প্রবণ।
দুই. কোল্ড ক্যাথোড আয়নাইজেশন ভ্যাকুয়াম গেজ
কাজের নীতি: একটি উচ্চ ভোল্টেজ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র ব্যবহার করে একটি ভ্যাকুয়ামে স্রাব প্ররোচিত করা (ঠান্ডা ক্যাথোডটি উত্তপ্ত নয়), এবং একটি বাহ্যিক চৌম্বক ক্ষেত্র প্রয়োগ করা। ইলেকট্রন, বৈদ্যুতিক এবং চৌম্বক ক্ষেত্রের (লরেন্টজ বল) সম্মিলিত প্রভাবের অধীনে, হেলিকাল গতির মধ্য দিয়ে যায়, গ্যাসের অণুর সাথে সংঘর্ষের মাধ্যমে আয়নকরণের সম্ভাবনাকে ব্যাপকভাবে বৃদ্ধি করে, যা একটি স্বয়ংক্রিয় প্লাজমা স্রাব তৈরি করে। আয়ন প্রবাহ চাপের সমানুপাতিক।
সুবিধা:দৃঢ় গঠন, কোন গরম ফিলামেন্ট, বায়ুমণ্ডলীয় প্রভাব প্রতিরোধী, দীর্ঘ জীবনকাল।
কোন এক্স-রে ব্যাকগ্রাউন্ডের বর্তমান সীমাবদ্ধতা নেই, যা উচ্চতর ভ্যাকুয়াম স্তর পরিমাপের অনুমতি দেয় (সাধারণত 10⁻¹² Pa এর ক্রম অনুসারে)।
অসুবিধা:
স্রাব স্থিতিশীলতা: কম চাপে স্রাব অস্থির হতে পারে, এমনকি "স্রাব বিলম্ব" বা "ফ্লেমআউট" ঘটনাও প্রদর্শন করতে পারে।
দূষণের প্রতি সংবেদনশীলতা: ক্যাথোড পৃষ্ঠের দূষণ ইলেক্ট্রন নির্গমনকে মারাত্মকভাবে প্রভাবিত করতে পারে, যা ভুল পরিমাপের দিকে পরিচালিত করে।
শক্তিশালী চৌম্বক ক্ষেত্র হস্তক্ষেপ: ভ্যাকুয়াম গেজের নিজস্ব শক্তিশালী চৌম্বক ক্ষেত্র আশেপাশের সরঞ্জামগুলিতে হস্তক্ষেপ করতে পারে (যেমন আয়ন উত্স); ইনস্টলেশন অবস্থান সাবধানে বিবেচনা প্রয়োজন.
