ই-বিম অপটিক্যাল কোটার

মডেল

SF-800

SF-1200

SF-1400

SF-1600

SFW-1000

SFW-1200

SFW-1600

চেম্বারের আকার

Φ800×1000MM

Φ1200×1400MM

Φ1400×1600MM

Φ1600×1800MM

Φ1000×1100MM

Φ1200×1400MM

Φ1600×1800MM

ভ্যাকুয়াম ইউনিট

KT500 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

KT630 ​​ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

ডাবল KT630 ​​ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

ডাবল KT630 ​​ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

KT500 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

KT630 ​​ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

ডাবল KT630 ​​ডিফিউশন পাম্প ইউনিট

আবরণ সিস্টেম

ইলেক্ট্রন বন্দুক বাষ্পীভবন উৎস, আবরণ সহায়ক আয়ন ডেডিকেটেড পাওয়ার সাপ্লাই বা হল আয়ন উৎস

মুদ্রাস্ফীতি ব্যবস্থা

প্রেসার কন্ট্রোলার

নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি

ম্যানুয়াল বা সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়

ফিল্ম বেধ পর্যবেক্ষণ সিস্টেম

কোয়ার্টজ স্ফটিক ফিল্ম বেধ পর্যবেক্ষণ সিস্টেম

পাম্পিং হার

5×10-3Pa﹤15মিনিট

চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম

3.0X10-4Pa

মন্তব্য

উপরের সরঞ্জামের পরামিতিগুলি শুধুমাত্র রেফারেন্সের জন্য, এবং গ্রাহকদের প্রকৃত প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী ডিজাইন এবং কাস্টমাইজ করা হয়েছে।